活性炭過濾器專題

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含有活性炭的活性炭過濾器-除AMC利器

文章來源:http://www.fjrunxing.com/  2024年01月23日  點擊數:276

活性炭是一種吸附材料,廣泛用于從空氣中去除 AMC。最常見的基于吸附的AMC過濾器都是使用活性炭的化學過濾器。其形式可以是活性炭床,炭顆粒彼此結合或結合于過濾器的纖維之間,即活性炭被負載到玻璃纖維或聚合物纖維或其他配置上。

酸性(MA)和堿性(MB)AMC是潔凈室內常見的氣態污染物。通過漬活性炭或離子交換纖維的化學吸附進行控制,以去除酸性或堿性的 AMC。如一種被納人過濾濾材的陽離子物種能捕獲酸性AMC;另一種陰離子物質鋅鋁蛇紋石(fraipontite)材料可同時吸收酸性和堿性的 AMCW,它是鋁硅酸鹽的一種,具有雙重結構,其中一側具有堅實的基本性質另一側具有固體酸性,因而一個與鋅鋁蛇紋石浸漬的化學過濾器能同時吸附酸性和堿性的AMC。

可凝結AMC(MC)通常是高沸點的有機物質,能由活性炭有效地進行物理處理。摻雜物 AMC(MD)是一種能改變半導體電性能的物質,如硼酸、有機磷酸鹽或砷酸鹽。這些AMC 最好通過消除其來源,如使用顆粒物過濾器或其他原料來減少源散發,這類 AMC的檢出限可能都太高3。

化學過濾器,特別是含有活性炭的活性炭過濾器,有時會釋放出不受歡迎的顆粒物并在空氣中傳播。因此化學過濾器通常位于標準 HEPA 過濾器的上游。即使如此,在選擇用于制造化學過濾器的材料時,如用于制造顆粒物過濾器的材料,也必須考慮到它們引人的污染物以及如何將其去除。

AMC對微電子制造的某些制程環節有很多致命的潛在危害,應盡量采取主動方式做好預防工作,例如盡量減少在生產中使用的化學物質的污染以及在潔凈室和設備中盡量使用低揮發性的材料等。然而事實上,潔凈室中不可避免地存在 AMC。多年的理論和實踐證明,物理和化學吸附是低濃度氣體污染物最為經濟有效的去除方法,幾乎可以去除所有的氣體污染物,是一個安全可靠、成熟的化學過濾解決方案。一般來說,AMC 現在可以進行充分的測量和凈化。AMC 的特性和控制在微環境中將變得非常重要

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